APCVD即常压化学气相淀积,是指在大气压下进行的一种化学气相淀积的方法,这是化学气相淀积最初所采用的方法。这种工艺所需的系统简单,反应速度快,但是均匀性较差,台阶覆盖能力差,所以一般用于厚的介质淀积。
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