射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压,频率在射频范围(约3KHz~300GHz)内、具有一定功率的电源。射频电源已广泛应用于半导体工艺设备;LED与太阳能光伏产业;科学实验中的等离子体发生;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。
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