百科釋義
微區成分分析（microanalysis）是指樣品表面線度約1微米的面積內進行成分分析的技術。簡稱為微（束）分析或微探針。分析結果反映由微小面積和取樣深度決定的有效探測體積內的平均成分和含量。分析時若對樣品表面掃描即可探測成分的面分布及相應的表面形貌。此類成分分析大多始於20世紀60年代，隨著以超大規模集成電路為代表的高新技術日益超微小型化，微區的線度也由約1微米向亞微米、納米（10－9米）乃至原子尺寸（10－10米）方向延伸，對微區分析提出了更高的要求。
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