氮化钽(Tantalum mononitride)是一种化工材料,分子式为TaN,分子量为194.95。用来制造精确片状电阻的材料,氮化钽电阻则可抵抗水汽的侵蚀。 在制造集成电路的过程中,这些膜沉积在硅晶片的顶部,以形成薄膜表面贴装电阻。
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