百科释义
直拉法又称为切克劳斯基法，它是1918年由切克劳斯基（Czochralski）建立起来的一种晶体生长方法，简称CZ法。CZ法的特点是在一个直筒型的热系统汇总，用石墨电阻加热，将装在高纯度石英坩埚中的多晶硅熔化，然后将籽晶插入熔体表面进行熔接，将旋转的籽晶下降与熔体浸润接触，逐步提升，经引颈、缩颈、放肩、等径控制、收尾等步骤完或拉品。拉品过程中应严格控制内温度及热场、拉速与转速、增坛转速与升降速率、炉内气体种类与压力等参数。该法优点是设备简单，便于操作和掺杂、易于拉制大直径单品，缺点是使用绀飒，过程不连续、单品纵向电阻率分布不均匀。
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