硅烷法是什么意思

百科释义

硅烷法：就是最终用硅烷热解制多晶硅的方法。硅烷有多种制法，主流的生产工艺有：硅镁合金法工艺（Komatsu 硅化镁法）；氯硅烷歧化工艺（Union Carbide 歧化法）；金属氢化物工艺（MEMC公司发明的新硅烷法）三种。

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