針質離子源產生的一次離子打到礦物和岩石樣品的表面激發出二次離子，二次離子經過儀器的靜電分析器進行能量聚焦，然後通過磁分析器將不同質荷比的同位素分開，由儀器後面的多接收器進行測定。通過測定元素的同位素組成可以獲得礦物和岩石形成時間。
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