mems执行器是什么意思

百科释义

MEMS执行器是将电信号转化为微动作或微操作的MEMS器件。典型的MEMS执行器包括：微电动机、微开关、微夹钳等；光MEMS器件中的数字微镜和各种微光学开关；RF MEMS器件中的RF微开关；微流体MEMS器件中的混合器、阀、泵等。

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