极大规模集成电路制造装备及成套工艺的相似词
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什么是相似词？
相似，指类似的意思，按日常习惯用法，相似词一般指同义词，也可能包含反义词（因为属于同一类型的词语）。
1. 近义词指意思相近，但不完全相同的词，比如：“开心”和“高兴”、“谦虚”和“谦逊”、“满意”和“欣慰”。
2. 反义词是指两个意思相反的词，比如：“真”和“假”，“美”和“丑”。
3. 等义词指意思完全相同的词。
4. 同义词包括近义词和等义词。
