百科釋義
壓阻式壓力傳感器是利用單晶矽的壓阻效應而構成。采用單晶矽片為彈性元件，在單晶矽膜片上利用集成電路的工藝，在單晶矽的特定方向擴散一組等值電阻，並將電阻接成橋路，單晶矽片置於傳感器腔內。當壓力發生變化時，單晶矽產生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化，再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
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