百科释义
纯氩pare ar}cm纯拭纯度为99.9}ro.高纯氨纯度为99.999`。尘埃(}矛}1.J，二、)>;.5粒I}。赢是空气中含量最多的一种稀有气体。无色、无臭、不助姗、无毒。纯氛可用低温精溜法制取二纯氛经铜炉rNi温除氧，硅胶1;燥除水甲冉经除氮塔进一步精馏除氮，便得99.999的高纯氢。纯氢pr配制特种混合气和_E业混合气如电光源混合气等高纯氛作为保护气和运载气主要用于电子工业中半导体锗、硅等的精炼和单晶硅的制备
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