百科釋義
過熱點是一種冶金、電子工程的專業術語。用深能級瞬態譜(DLTS)和液晶顯示等技術分析了軟特性矽功率器件體內‘’過熱點‘’的微觀結構及形成原因。表明：在高溫擴散工藝中，較大溫度梯度產生的局部熱應力場，造成重金屬雜質擇優澱積，使晶體缺陷電激活,是產生體內‘’過熱點‘’的根源。根據熱加速場發射效應解釋了‘’過熱點"對矽功率器件電學性能的影響。
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